TOP > 事業概要 > 事業分野から探す > 極微量分析用 クリーンルーム

極微量分析用 クリーンルーム

イメージ ※クリックすると拡大します。

  • 図1 クリーンブースの外観

概要

ウエハ表面分析をはじめとする極微量分析は、高度に制御されたクリーンルーム環境が必要であり、分析メニューに応じて、各種クリーンルーム環境を整備している。

仕様

・型式:テクノ菱和製
・クラス10
・PFA製 ULPAフィルター (耐薬品使用)
・ケミカルフィルター (アニオン・カチオン・有機成分除去)

試料

・シリコンウエハ前処理(2〜12インチウエハ)
・各種半導体部材前処理(1g以上)
・クリーンルームサンプリング準備

特徴

・クリーン度がクラス10で、分析元素の汚染の危険性がほとんどない
・PFA製 ULPAフィルター (耐薬品):フィルターにガラス繊維を使用していないためBの検出限界向上
・ケミカルフィルター (アニオン・カチオン・有機成分除去):イオン成分及び有機成分の検出限界向上

実施例

・シリコンウエハ表面分析
・シリコンウエハバルク分析
・超純水の分析
・超高純度試薬の分析
・クリーンルーム部材の溶出試験
・有機材料の分析

関連個別商品

関連受託商品

事業概要