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微小はんだボールにおける接合強度の低下要因調査の一例(酸化膜)

目的

はんだバンプの微小化に伴い、ボール表面の酸化膜の状態が接合性に影響することが懸念される。そのため、断面観察にてその存在状況を確認する。

方法

FIBマイクロサンプリング法にて試料調整した後、In-LensSEMにてSEM,STEM像観察を行った。

試験装置・ソフト

・FIB(日立ハイテク:FB2100)
・In-LensSEM(日立ハイテク:S5500)

結果

はんだバンプ廻りに不均一に存在する酸化膜が確認できた。

お客様の成果

微小ボールの強度低下の要因の一つとして考えられるはんだボールの酸化膜の状況がSEM像から評価可能であることがわかった。

イメージ ※クリックすると拡大します。

  • 図1)はんだボール薄膜SEM像
  • 図2)はんだボール薄膜STEM像

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