イメージングＩＲ（イメージング赤外分光分析）

イメージ
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- 図１イメージングIR装置の外観
- 図２塩ビシートの劣化測定結果
概要

μｍオーダーの微小領域にて赤外分光分析を行うもので、赤外分光分析は有機成分に関して得られる情報量が多く、有機成分解析に不可欠の方法である。
仕様

・型式：パーキンエルマー社製 Spectrum Spotlight 400
・最小１００μｍ×１００μｍの領域を最小６μｍに区切ったイメージングが可能
・最小２μｍに区切ったイメージングが可能（表面平滑試料が対象）
・自動大気補正機能つき
試料

・試料サイズ：最大50mm角、高さ10mmまで（反射モードの場合は高さ20mmまで）
・有機異物（電子部品接点上，ウェハ表面など）
・樹脂（材質調査，劣化有無調査など）
・塗膜（多層塗膜の各層の定性）
特徴

有機物あるいはその官能基のマッピング分析、付着物や不均質材料の同定および分布測定が可能で、ビジュアルに評価できる。
実施例

・塩ビシートの劣化状況調査：
　塩ビシートの光による劣化のイメージング事例を図に示す。
　シート内で劣化進捗程度が異なることがビジュアルに示される。
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