精密エッチング・コーティングシステム

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概要

走査電子顕微鏡（SEM）、結晶方位解析（EBSP)、X線マイクロアナライザー（EPMA)用の広範囲且つクリーンな観察領域をもつ試料の作製のために、イオンビームを用いたエッチング及びスパッタコーティングを行うシステムである。
仕様

・型式　：　PECS682
・イオンガン：小型希土類磁石付ペニングガン３機
・イオンビームエネルギー：1.0～10.0keV
・エッチング領域：10ｍｍ
・コーティング領域：1.0ｲﾝﾁ
・コーティング材：C、Cr
試料

・試料サイズ：25.4mmφ×10mm
・SEM観察用金属材料、半導体材料
・EBSP解析用金属材料、半導体材料
・EPMA分析用金属材料、半導体材料
特徴

・湿式化学エッチングの代替あるいはその補助として使用できる。
・エッチングとコーティングを同じチャンバーで行うことができ、作業効率が良い。
・試料を回転、振動させることにより均一なｴｯﾁﾝｸﾞを可能にする。
実施例

・半導体実装部品のボンディング部断面観察用試料調製
・薄膜断面観察用試料作製