事業概要
Services

超低真空走査型電子顕微鏡

イメージ
※クリックすると拡大します。
概要

低真空機能付の電界放射型走査電子顕微鏡に元素分析用のＥＤＳ及び横形ＷＤＳを搭載させたもので、冷却ステージと加熱ステージを付帯〔ＥＳＥＭ(超低真空)用〕している。
仕様

・形式：Quanta200FEG（日本FEI社製）
・観察可能倍率：12～100,000倍
　　　　　　　（低真空モード：12～50,000倍、超低真空200～20,000倍）
・冷却、加熱ステージ付帯可能で-10℃～800℃での観察が可能
・定性　（B～U）、半定量（B～U）、面分析（B～U）
試料

・最大試料寸法：Φ150mm×65mm　
・観察可能領域：Φ50mm×40mmH
特徴

・Field Emissionの特性として高分解能であり、高倍率の観察が可能〔高真空モード〕である。
・低真空モードはもとよりＥＳＥＭ(超低真空)モードの冷却ステージ上でも二次電子像と反射電子像が無処理ままで観察できる。またＥＤＳによる元素分析や、ＥＳＥＭ(超低真空)モードでは含水試料にも対応可能〔冷却ステージ要〕である。
・冷却、加熱ステージにより、低温や高温状態での観察が可能である。また、動画撮影システムを有し、挙動（In-Situ）観察における動画作成や動画録画も可能である。
実施例

・大きな試料ままで取り扱わざるを得ない事故品調査の破面観察
・腐食生成物や有機物(ゴム等)の非導電性物質の無処理観察(二次電子像と反射電子像併用)
・冷却ステージを用いた含水試料の観察(二次電子像と反射電子像併用)とEDS分析
・加熱ステージを用いた昇温過程における物質表面の挙動（In-Situ）観察