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コベルコ科研 LEO事業部−KOBELCO RESEARCH INSTITUTE,INC LEO Division
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[2011.12.13]  「サファイア関連」を更新しました。

[2011.11.15]  セミコン・ジャパン2011に出展します。

製品リスト プロセスからのアプローチ

太陽光発電関連
太陽光発電関連
TSV・BSI分野への応用
TSV・BSI分野への応用
サファイア関連
NEW
サファイア関連
ライフタイム測定装置
キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。
エッジプロファイルモニター
ウェーハエッジ部の面取り幅・厚さ・角度や、ウェーハ直径、オリフラ長さノッチ形状を自動測定
エッジマイクロスコープ
ウェーハエッジ・ノッチ部専用の顕微鏡です。
エッジロールオフ測定装置
ウェーハエッジのロールオフを表裏面同時に精密に測定する装置です。
ウェーハソータ
厚さ、抵抗率、ボウ/ワープ等の測定値およびホスト情報などを使用しウェーハを分類。
ボウ・ワープ測定装置
ウェーハのボウ・ワープを高速・高精度で測定します。
魔鏡システム
鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示。
FPD用薄膜評価装置
FPD用LTPSや酸化物半導体薄膜を評価する装置です。

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