測定サービス一覧

測定サービス一覧

当社の特徴ある装置による受託測定サービスを承ります。

ライフタイム測定

ライフタイム:Si、SiC、GaN、LTPS、IGZO等各種半導体材 料のライフタイム測定。

バルクウェーハのライフタイムマップ例

ライフタイム:Si、SiC、GaN、LTPS、IGZO等各種半導体材 料のライフタイム測定。ライフタイムを測定することにより、結晶の完全性やウェーハ中に混入した重金属を測定することができます。また、ライフタイムマップにより汚染原因を推定できる場合があります。当社のライフタイム測定装置の測定ピッチは標準仕様で0.5mmであり、細かなマップを高速で作成することができます。
青色が短いライフタイムに対応しています。

  • 製造装置のチャック跡
  • 酸化ボートの汚染
  • OSF(酸化誘起積層欠陥)リング
  • 製造装置のピン接触跡
  • 熱処理によるスリップ転位
  • 真空ピンセットの吸着痕

平坦度・形状測定

平坦度:Si、SiC、サファイア基板の平坦度 (Bow,Warp,TTV,GBIR,FSQR等)の測定。

測定例

クラ型のプロファイル例 Example of saddle type profile

オワン型のプロファイル例 Example of bowl type profile

魔鏡観察

魔鏡:Si基板(ミラー)の表面性状観察。

シリコンウェーハ表面の観察例

面荒れ、突起、凹み、研磨痕、研削痕、エッジクラック、サーマルスリップが明瞭に現れています。

  • 面荒れ
    Orange Peel
  • 突起/凹み
    Dimple/Protuberance
  • 凹み
    Dimple
  • 研磨痕
    Polish Mark
  • 研磨痕
    Polish Mark
  • エッジクラック
    Edge Crack
  • スリップ転位
    Thermal Slip
  • スリップ転位
    Thermal Slip
  • 研削痕
    Grinding

エッジ形状測定

エッジプロファイル:Si、SiC、サファイア基板のエッジ(ベベ ル)形状測定。

エッジ形状とノッチ形状の測定例

エッジ形状とノッチ形状の測定例を示します。異なる形状についても、オプションソフトウエアにより対応可能です。

  • エッジ形状の測定例(LCD画面)
  • エッジ形状の測定例(LCD画面)
  • エッジ9点表示画面

エッジロールオフ測定

エッジロールオフ(ROA : Roll Off Amount)を非接触、非破壊で表裏同時に測定します。

エッジロールオフの測定例

  • DSP Surface
  • U-SSP Surface
  • DSP Thickness
  • U-SSP Thickness
ページTOP