ライフタイム測定装置

Si半導体

原理:マイクロPCD法

μ-PCD:Microwave PhotoConductivity Decay(マイクロ波光導電減衰法)

レーザーにより試料に注入したキャリアの時間的変化を、マイクロ波の反射パワーで検出します。

_r1_c1.gif

測定対象と装置構成

様々な試料のライフタイムを測定するための励起レーザとマイクロ波検出系の組み合わせ

img_item01_02.png

様々なバルクウェーハ

様々なバルクウェーハのタイムラップ

img_item01_03.png

鉄濃度(オプション)

μ-PCD法による鉄濃度測定

img_item01_04.png

コロナチャージ(オプション)

RTP酸化膜とコロナチャージによる表面不活化

img_item01_05.png

製品ラインナップ

社団法人電子情報技術産業協会規格(JEIDA-53)に準拠した904nmレーザと9.6GHzマイクロ波アンテナ検出部を搭載しています。
349nmレーザと26GHz差動マイクロ波アンテナ検出部などオプションで搭載が可能です。

img_item01_06.pngimg_item01_07.pngimg_item01_08.png

btn_service.jpg

ページTOP