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□HOME > 商品メニュー > 分析・物理解析　ミクロ解析・評価 6 クリーンルーム環境測定 NO. 項　　　　　目 　（1） 金属成分分析 １ サンプリング インピンジャー捕集法 ２ 金属成分分析 （ＩＣＰ−ＭＳ，ＦＬＡＡＳ） 前処理 定量分析：１元素毎 　ＩＣＰ−ＭＳ 　フレームレス原子吸光法（ＦＬＡＡＳ） 定性分析 　（2） イオン成分分析 １ サンプリング インピンジャー捕集法 ２ イオン成分分析 （イオンクロマトグラフィ） 前処理 定量分析（イオンクロマトグラフィ） 定性分析（イオンクロマトグラフィ） 　（3） 薄膜応力測定（光てこ法） １ サンプリング サンプリングキット準備 ２ 有機成分分析 前処理 定性分析 定量分析 　（4） ウェハ暴露試験 １ サンプリング サンプリングキット準備費等 ２ 金属成分分析 ＩＣＰ−ＭＳ，ＦＬＡＡＳ ３ イオン成分分析 イオンクロマトグラフィ ４ 有機成分分析 ＧＣ−ＭＳ ５ パーティクル パーティクルカウンター ６ 異物調査 　 ▲ このページのトップへ