Al-Nd合金スパッタリングターゲット
技術の概要
Al-Nd合金は、独自溶解技術のスプレイフォーミング法により製造、高耐熱性を有し各種配線や反射膜に広く使用されています。
特長
- ・高耐ヒロック性
- ・低電気抵抗率
- ・高反射率
スプレイフォーミング技術
技術の概要
誘導溶解炉で溶解した原材料を、誘導溶解炉下部に設けた細い穴から流出させる。
流出した溶湯にガスを吹き付けることで微細な液滴とし、回転しているコレクターに均等に降り積もらせ、プリフォームと呼ばれる中間素材を製造する。
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特長
- ・微細で均一な結晶組織
- ・合金成分の均一な分散
- ・スプラッシュの発生低減
