光ディスク用スパッタリングターゲット

概要

ブルーレイディスク(Blu-ray Disc)やDVDなどの光記録メディアの反射膜、半透明膜として欠くことができないAg合金・Al合金スパッタリングターゲットをご提供致します。
GBDシリーズ、GDシリーズは、当社オリジナルのAg合金材料であり、高反射率と優れた耐食性を備え、広く採用いただいています。

光ディスクに要求
される特性
製品 用途
高反射率
低吸収
高耐久性
GBDシリーズ
(Ag合金)
全反射膜
  • BD-ROM
  • BD-R/RE
半透明膜
  • BD-ROM
  • BD-R/RE
  • DVD-ROM
  • DVD-R DL
優れた表面平滑性
高耐熱性
GDシリーズ
(Ag合金)
全反射膜
  • BD-R/RE
  • DVD-RW
優れた表面平滑性
生産性向上
Al合金
全反射膜
  • BD-R

光ディスク用ターゲット

加速環境試験後の表面SEM写真

  • 加速環境試験条件 : 80℃-85%RH-96h
  • 薄膜 : 150nm(鏡面ポリカーボネート基板上)

豆知識

ブルーレイディスク、DVDとAg合金スパッタリングターゲット

2層ブルーレイディスクの構造

ブルーレイディスクは、DVDと比較し約5倍のデータ容量があり、フルハイビジョン映像にも対応しています。規格によってディスクの構造やデータの記録方式が異なるものの、データの再生は、ディスクに照射されたレーザー光の反射率変化を信号化することでおこなわれます。このため、反射膜材料としては、反射率が高く、経時劣化の少ないものが必要とされます。反射膜は、100ナノメートルと薄いため、薄膜蒸着の一手法であるスパッタリング法が用いられています。

アドバンストアロイとは、コベルコ科研が提案する新しい合金の登録商標です。

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