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| ■ 物理解析分野 |
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光学顕微鏡 |
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X線回折装置 |
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エネルギー分散型X線検出器-走査電子顕微鏡 |
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X線マイクロアナライザー |
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電界放射型-走査電子顕微鏡 |
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オージェ電子分光装置 |
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分析電子顕微鏡 |
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X線光電子分光装置 |
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高分解能透過型電子顕微鏡 |
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2次イオン質量分析装置 |
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集束イオンビーム加工観察装置 |
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本装置の特徴は、通常の透過電子顕微鏡に比べ、輝度が1000倍以上高い電子銃を搭載していることから、電子ビームを0.5nmまで絞っても十分輝度を確保することができ、原子レベルの観察や構造解析ができる点にあります。さらにエネルギー分散型分析装置、電子線速度分析およびイメージングフィルターを付属しており、ナノオーダー領域の元素のマッピングや状態分析が可能で、とりわけ従来難しかった軽元素の分析も高い検出感度で行なえることも特徴の一つです。
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