| ＜ 誘導結合プラズマ質量分析装置 ＞ |
［ICP-MS］
Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometer |
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| ＩＣＰ−ＭＳは、1980年に開発された比較的新しい元素分析装置で、ほとんどすべての金属元素を非常に微量なｐｐｂレベル(10億個中の1個）まで迅速に検出できる特徴を持っています。このことから、極微量の不純物成分の分析に有効な装置として、著しく汎用化が進んでおり、当社でも他社に先駆け1986年にＶＧ社製の装置を設置し、さらに1993年3月にはセイコー電子工業製の装置をクリーンルームに設置して、微量分析技術の開発に役立てています。 |
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装置は大きく分けて試料導入部、イオン化部、質量分析部から構成されています。通常、試料を適当な前処理により溶液化したのち、試料導入部より装置内に導入します。試料溶液はネブライザー（噴霧器のようなもの）で霧状にされ、イオン化部であるＩＣＰ(Inductively
Coupled Plasma：高周波電力により発生されるプラズマ）に導入されます。
ICPは5,000〜7,000℃と非常に高温で導入された試料中のほとんどの元素は、９０％以上の効率でイオン化されます。生成されたイオンは質量分析計に取り込まれ、そこで質量電荷比ごとに分離され、イオンの数が計測されます。その質量電荷比から元素の種類が、検出したイオンの数から元素の量がわかります。
ＩＣＰ−ＭＳは、電子工業分野、環境分野などで利用されています。例えば、半導体生産に不可欠な超純水中の極微量不純物、ＬＳＩの電極材料であるアルミニウムや金などの高純度金属材料中の極微量不純物の分析、また環境水中の微量有害金属成分などの分析に威力を発揮し、最先端産業には欠かせない装置となっています。 |
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| （１）RF電源 |
プラズマを発生させるための高周波電源（２７MHz,1〜２ｋW） |
| （２）インピーダンスマッチングボックス |
高周波電力をプラズマに供給するためのインピーダンス変換器 |
| （３）Ａｒガス |
プラズマガス。
試料搬送ガスとしても用いる |
| （４）サンプル |
通常、溶液として、約２ml/分の速度で連続注入する。 |
| （５）イオン化部（ＩＣＰ） |
試料がイオン化される部分 |
| （６）イオン引き込み部 |
質量分析計にイオンが効率よく到着するように一定方向に集束する部分 |
（７）質量分析部 |
イオンを質量電荷比ごとに分離し、イオンの数を計数する部分 |
| （８）真空系 |
高真空を保つための真空ポンプ |
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