▼HR-ERDAによるDLC膜中の水素分析 ▼FE-SEM/EBSP法による希土類磁石の配向性評価 ▼AES-EELFSを用いた機能材料の構造解析 ▼カーボンナノチューブのTEM-EDX分析 ▼Q-SIMS極薄膜評価 ▼光てこ法による薄膜応力の測定