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□HOME > 事業概要 > 課題解決・提案 > 環境・化学 > 材料分野 > クリームルーム環境評価 ■半導体分析-クリームルーム環境評価 シリコンウェハの分析　：　クリームルーム環境評価 液中パーティクル分析　：　石英等の表面、バルク微量成分分析 ＷＥＥＥおよびＲｏＨＳ指令対策　：　ガス分析 鉄鋼、非鉄等の組成分析　：　介在物の抽出と分析 溶液中イオンの分析 　 有機材料中の微量金属分析　：　高分子材料評価分析 樹脂・接着剤等のガス分析 　 ・サンプリングから分析・結果の解析までトータルでお手伝い致します。 ・機器貸与可能（セッティングおよび回収操作マニュアル添付） 　 　 　　無機成分≫≫ ウエハー暴露試験　⇒　ICP-MS 　　イオン成分≫≫ バブリング（インピンジャー）　⇒　イオンクロマトグラフ 　　有機成分≫≫ 活性炭・カートリッジ捕集　⇒　GC-MS 　 ・ウエハー暴露試験 (8ｲﾝﾁｳｴﾊ-) 　 成分 Ｎａ Ｍｇ Ａｌ Ｋ Ｃａ Ｃｒ Ｆｅ Ｎｉ Ｃｕ Ｚｕ 8インチウェハ ２ ３ ７ 11 13 ６ ３ ３ ２ ４ 12インチウェハ １ １ ３ ５ ６ ３ １ １ １ ２ 　 ・インピンジャーを用いたバブリング 　 成分 定量下限値 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 　 セッティング例 ▲ このページのトップへ