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理論解析(原子モデル設計、分子スペクトルシミュレーション、MD計算)

  • 方法
    ・構造モデル設計。入力情報として構造モデルを作成する。ここでは、SiとSi酸化物の構造モデルを図1へ示す。
    ・分光シミュレーション:構造モデルを基に、理論的な反射EELS、TEM-EELSスペクトルを計算する。
    ・実測の反射EELS、TEM-EELSスペクトルを測定する。
    ・測定データとの比較を行う。最小自乗フィット(LC-XANES Fit)などの解析を行い、含有物の半定量解析を行う。
  • 試験装置・ソフト
    ・原子モデル設計 Materials Explorer4, OpenMX3, Cerius, ChemOffice, Atoms
    ・分光スペクトルシミュレーション FEFF8.2、DV-Xa、Wien2k
    ・解析 LC-XANES Fit
  • イメージ

    ※クリックすると拡大します。

    • 図1)構造モデルの例
    • 図2)TEM-EELSの実スペクトルと理論スペクトルの比較結果
  • 特徴
    反射EELS(Electron Energy Loss Spectrum)やTEM-EELSなどの実測スペクトルをシミュレーション解析することにより,微小領域(nm)における特定元素の状態分析,構造解析が可能になる。
  • 実施例
    ・TEM-EELS解析 Si K損失端スペクトルと理論スペクトルの比較(図2)
    ・反射EELSのスペクトル解析 Diamond Like Carbonの分析
    ・放射光によるX線吸収微細構造スペクトル解析 フェライト鋼、Feさびの添加元素・不純物の状態解析