株式会社コベルコ科研LEO事業本部は、光・電子・光学技術（Laser-Electro-Optics: LEO）の専門集団。
高い技術力と豊富な経験でお客様のニーズにお応えしています

ライフタイム測定装置

キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。

結晶性評価装置(FPD）

低温ポリシリコン薄膜（LTPS）、酸化物半導体のプロセス管理が可能です。

平坦度・形状測定装置

ウェーハの平坦度を高速・高精度で測定します。

魔鏡システム

鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。

エッジ・ノッチ形状測定装置

独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。

エッジロールオフ測定装置

ウェーハエッジ部の面取り幅・厚さ・角度や、ウェーハ直径、オリフラ長さノッチ形状を自動測定します。

ソーティングシステム・移載機

あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。

貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置

エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。