標準仕様のLEPシリーズは、エッジ形状、ウェーハの直径、オリフラの長さ（ダブルオリフラの場合はオリフラ角度の測定）およびノッチ形状について、自動測定することができます。

LEPシリーズでは、測定分解能を向上させるために、サブピクセル検出法（CCDイメージセンサやリニアセンサの画素サイズより小さな精度で長さを測定する方法）を採用しています。

各画素で受光した光量をコンピュータで処理することによって、画素サイズの数十分の一以上の高い分解能を達成しています。

異なる形状のエッジについてもオプションソフトウエアにより対応可能です。