[KOBELCO/LEO]Lifetime Monitor

◆ エピ･薄膜SOI対応全自動ライフタイム測定装置 LTA-2200EP/F

300mm

バルク　エピ　拡散　薄膜SOI

ロボット

マップ　任意座標　τe　τ1

FOUP

JEIDA標準の測定系（レーザ波長904nm、マイクロ波周波数9.6GHz)に加えて、349nmの短波長レーザと26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

CZウェーハはもちろん、エピ・拡散や低抵抗率のウェーハ、薄膜SOI構造の試料など幅広いウェーハのライフタイム測定が可能です。

非接触ノッチ・オリフラ合わせ、センタリング、カセットtoカセットのウェーハ搬送機能を備えています。

全自動で連続25（26)枚のウェーハのライフタイムマップを測定します。

300mmFOUPカセットに対応しています。

◆ エピ･薄膜SOI対応全自動ライフタイム測定装置 LTA-2200EP

100mm　125mm　150mm　200mm　300mm

バルク　エピ　拡散　薄膜SOI

ロボット

マップ　任意座標　τe　τ1

Open

JEIDA標準の測定系（レーザ波長904nm、マイクロ波周波数9.6GHz)に加えて、349nmの短波長レーザと26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

CZウェーハはもちろん、エピ・拡散や低抵抗率のウェーハ、薄膜SOI構造の試料など幅広いウェーハのライフタイム測定が可能です。

非接触ノッチ・オリフラ合わせ、センタリング、カセットtoカセットのウェーハ搬送機能を備えています。

全自動で連続25（26)枚のウェーハのライフタイムマップを測定します。

◆ エピ･薄膜SOI対応全自動ライフタイム測定装置 LTA-2000EP

100mm　125mm　150mm　200mm

バルク　エピ　拡散　薄膜SOI

ロボット

マップ　任意座標　τe　τ1

Open

JEIDA標準の測定系（レーザ波長904nm、マイクロ波周波数9.6GHz)に加えて、349nmの短波長レーザと26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

CZウェーハはもちろん、エピ・拡散や低抵抗率のウェーハ、薄膜SOI構造の試料など幅広いウェーハのライフタイム測定が可能です。

非接触ノッチ・オリフラ合わせ、センタリング、カセットtoカセットのウェーハ搬送機能を備えています。

全自動で連続25（26)枚のウェーハのライフタイムマップを測定します。

◆ エピ･薄膜SOI対応ライフタイム測定装置 LTA-1510EP

100mm　125mm　150mm　200mm　

バルク　エピ　拡散　薄膜SOI

手動

マップ　任意座標　τe　τ1

JEIDA標準の測定系（レーザ波長904nm、マイクロ波周波数9.6GHz)に加えて、349nmの短波長レーザと26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

CZウェーハはもちろん、エピ・拡散や低抵抗率のウェーハ、薄膜SOI構造の試料など幅広いウェーハのライフタイム測定が可能です。

試料を測定ステージにマニュアルセットすることにより、ライフタイムマップを測定します。

◆ 低温ポリシリコン評価装置 LTA-2810SP

400 x 500 mm （ガラス基板）

低温ポリシリコン

ロボット

マップ　任意座標　Peak

349nmの短波長レーザと、26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

従来評価が困難だった低温ポリシリコン薄膜の結晶性の評価が可能です。

ロボット搬送機能を備えており、基板カセットをセットすることにより、ピーク値マップを自動的に測定します。

◆ 低温ポリシリコン・SiC評価装置 LTA-1800SP

200mm角まで　

低温ポリシリコン　SiC

手動

マップ　任意座標　τe　τ1　Peak

349nmの短波長レーザと、26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

従来評価が困難だった低温ポリシリコン薄膜の結晶性や、ワイドバンドギャップ半導体であるSiCの評価が可能です。

試料を測定ステージにマニュアルセットすることにより、ライフタイムまたはピーク値マップを測定します。

オフライン評価や研究用に適した装置です。

◆ FPD・SiC・PV薄膜評価装置 LTA-1610SP

200mm角まで　

FPD（LTPS,IGZO）,SiC,CIGS等

手動

マップ　任意座標　τe　τ1　Peak

349nmの短波長レーザと、26GHzの差動μ-PCD検出系を搭載しています。

従来評価が困難だった低温ポリシリコン薄膜の結晶性や、ワイドバンドギャップ半導体であるSiCの評価が可能です。

試料を測定ステージにマニュアルセットすることにより、ライフタイムまたはピーク値マップを測定します。

コンパクトかつコストパフォーマンスに優れた、
オフライン評価や研究用に適した装置です。

◆ 鉄濃度測定ユニット FE-2000/2200

鉄濃度測定例

100mm 125mm 150mm 200mm 300mm* (*FE2200のみ)

P型CZウェーハ

自動（LTA-2000,2200,2000EP,2200EPの場合）

マップ　任意座標　Fe濃度

光照射により、鉄－ボロンペアを格子間鉄に解離させ、光照射前後のライフタイムから鉄濃度を算出します。

任意座標の鉄濃度や、ウェーハ全体の鉄濃度マップを測定できます。

FE-2000/2200は、LTA-1510/1512/2000/2200/EPへの組み込み用です。

型名	ウェーハサイズ（mm）					自動計測	対応機種
型名	100	125	150	200	300	自動計測	対応機種
FE-2000	○	○	○	○	－	○	LTA-2000、2000EP LTA-1510、1510EP
FE-2200	○	○	○	○	○	○	LTA-2200、　2200EP LTA-1512、 1512EP

◆ コロナチャージユニット CC-2000/2200

コロナチャージ前　τ=3μs

コロナチャージ後　τ=250μs

100mm　125mm　150mm　200mm　300mm*(*CC2200のみ)

CZ　FZ　エピ　拡散　SOI

自動

マップ　任意座標　τe τ1

コロナ放電で生成したイオンをウェーハ表面にデポすることにより、表面/界面のキャリアを内部に押し込みます。従って表面/界面の影響を受けずにバルクのライフタイムが測定できます。

RTO処理による酸化膜の場合でもバルクのライフタイムが得られます。

300mmウェーハプロセスのように、枚葉処理が主体となる工程でお使いいただけます。

型名	ウェーハサイズ（mm）					自動計測	対応機種
型名	100	125	150	200	300	自動計測	対応機種
CC-2000	○	○	○	○	－	○	LTA-2000、2000EP
CC-2200	○	○	○	○	○	○	LTA-2200、　2200EP

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