ライフタイムを測定することにより、結晶の完全性やウェーハ中に混入した重金属を測定することができます。

また、ライフタイムマップにより汚染原因を推定できる場合があります。当社のライフタイム測定装置の測定ピッチは標準仕様で0.5mmであり、細かなマップを高速で作成することができます。

以下のマップ例では、青色が短いライフタイムに対応しています。

製造装置のチャック跡

酸化ボートの汚染

OSF（酸化誘起積層欠陥）リング

製造装置のピン接触跡

熱処理によるスリップ転位

真空ピンセットの吸着痕