レーザの発振電流の調整機能と減光フィルタを組み込むことにより、ウェーハへの注入キャリア密度を変化させることができます。

注入キャリア密度を変化させながらライフタイムを測定すると、バルク中の汚染と酸化膜/シリコン界面のトラップ密度（Dit）を分離することができます。

キャリア注入密度とライフタイムの関係

酸化膜/シリコン界面のトラップ密度