N点計測

ウェーハ上の任意座標（1〜50点）の計測が可能です。

マッピング計測

０．５，１，１．５，２，３，４，５，１０，１５，20mmピッチにより、ウェーハ全面をマッピング計測します。

部分計測（オプション）

部分表示（オプション）

ファイルにセーブされたマップデータについて、○、□で指定した領域を表示します。

３次元表示（オプション）

ファイルにセーブしたマップデータについて、３次元で表示します。