ライフタイム測定ユニット KLT-100
●μ-PCD法（LD:904nm,マイクロ波:10GHz）によりライフタイムを測定
●125mmおよび156mm角基板対応
●1ライン最大37点測定（156mm）
●最大3ライン/ユニット同時測定可
インライン測定ユニット
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●μ-PCD法（LD:904nm,マイクロ波:10GHz）によりライフタイムを測定
●125mmおよび156mm角基板対応
●1ライン最大37点測定（156mm）
●最大3ライン/ユニット同時測定可
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