ライフタイム

●μ-PCD法（LD:904nm,マイクロ波10GHz）および差動μ-PCD法（レーザ:349nm,マイクロ波26GHｚ）によりライフタイムを測定
●単結晶・多結晶Si基板/ブリック、Si薄膜、CIS/CIGS、薄膜対応
●マッピング測定、N点測定
●マニュアル式
●プリンタおよびタッチパネルモニタ搭載（オールインワンタイプ）

ブリックライフタイム測定装置BLT-1000B／ライフタイム測定装置LTA-1510EP

ブリック内部異物検査装置

●赤外線カメラによりブリック内部の異物を検出
●赤外線カメラで撮像した原画像を濃淡画像出力としてマップ表示
●前記濃淡画像の2値化しきい値をユーザで任意設定し、マップ表示
●しきい値設定による自動及び手動マーキング機能(オプション)

内部異物検査装置BII-1100