スライス工程 厚さ・バウワープ測定機能付き300mmウェーハソータLBW-3030

ウェーハサイズ 300mm

測定項目 厚さ、バウワープ

ウェーハ搬送 ロボット

スライス後の300mmウェーハの厚さおよびバウワープを測定し、その結果によりウェーハを分類する装置です。
研削工程 魔鏡・バウワープ機能付き300mmウェーハソータMBW-3030

ウェーハサイズ 300mm

測定項目 魔鏡、厚さ、バウワープ

ウェーハ搬送 ロボット

ウェーハ研削後、厚さおよび形状（バウワープ）を測定し、さらにオペレータが魔鏡により研削痕を観察し、その結果によって合否判定を行い分類します。
研削工程 厚さ測定機能付き200mmベルトソータLTS-2200B

ウェーハサイズ 200mm

測定項目 厚さ

ウェーハ搬送 ベルト

スライス後の300mmウェーハの厚さを測定し、その結果によりウェーハを分類する装置です。ベルト式のため、多くのクラスに迅速に分類する用途に適しています。
再生ｳｪｰﾊ受入工程 200mmロットソーティングシステムLRP-2420S

ウェーハサイズ 200mm

測定項目 厚さ、比抵抗、PN

ウェーハ搬送 ロボット

再生用ウェーハの受入工程で、200mmウェーハの厚さ、比抵抗、PN型を測定し、分類します。2台のロボットで測定と並べ替えを独立して交互に行うことにより、最大1050枚のウェーハを一度に処理することができます。
研磨工程 抵抗・バウワープ機能付き300mmウェーハソータRPW-3080i

ウェーハサイズ 300ｍｍ

測定項目 厚さ、比抵抗、PN、バウワープ、直径、ID読取

ウェーハ搬送 ロボット

300mmウェーハの研磨後の工程で、各種測定を行い、レーザマークを読取り、分類を行う装置です。
研磨工程 300mmウェーハ用多機能形状測定装置RPW-3030Ei

ウェーハサイズ 300mm

測定項目 厚さ、比抵抗、PN、バウワープ、GBIR、直径、ID読取

ウェーハ搬送 ロボット 真空吸着

300mmウェーハの研磨後工程で、ウェーハの形状や平坦度等を検査、分類する装置です。
研磨工程 300mmウェーハエッジ・表面粗さ測定装置LSM-3000

ウェーハサイズ 300mm

測定項目 ID読取

ウェーハ搬送 ロボット

テーラーホブソン社製タリサーフを採用し、300mmウェーハの研磨後の工程で、エッジやウェーハ表面上の任意の位置の粗さを測定する装置です。
出荷工程 ロードポート付き300mm移載装置LSS-3060FEi

ウェーハサイズ 300mm

測定項目 ID読取

ウェーハ搬送 ロボット

300mウェーハの出荷工程で、IDを読取りホストからの指示に基づき、FOSB⇔FOUP間の移載を行うミニエンバイロンメントタイプの装置です。
出荷工程 200mmウェーハ用レーザマーク検査装置LMC-2040F

ウェーハサイズ 200ｍｍ

測定項目 ID読取

ウェーハ搬送 ロボット

200mmウェーハの出荷前工程で、ウェーハ表裏面のレーザマークを読取り、検査、分類する装置です。

 
ここにご紹介した装置以外にも、お客様のご要望に沿った
さまざまなソーティングシステムの経験があります。
是非一度ご相談ください。

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