搬送方式

ベルト
方式

ウェーハの供給・測定・格納をシーケンシャルに行います。タクトタイムが短く、大量のウェーハの短時間処理が可能です。

ロボット
方式

クリーン対応ロボットを使用しているので、コンタミの少ない搬送を実現します。ウェーハ裏面を汚さないエッジハンドリングも可能です。

処理方式

枚葉式

あらかじめ指定した分類ルールに従って、ウェーハを順番にソートします。 コンパクトな構成で素早いソーティングを実現します。

バッチ式

測定したウェーハをバッファに格納し、その後測定結果に基づいてソートします。 厚さや比抵抗順の並べ替えなど、最適なソーティングが可能です。ロード・アンロードカセットとバッファを共用することもできます。