光ディスク用スパッタリングターゲット
概要
ブルーレイディスク（Blu-ray Disc）やDVDなどの光ディスクの反射膜、半透明膜の成膜として欠くことができないAg合金とAl合金のスパッタリングターゲットをご提供いたします。
GBDシリーズとGDシリーズは、当社オリジナルのAg合金であり、高い反射率と優れた耐久性を備えております。
BALシリーズも、当社オリジナルの合金であり、優れた表面平滑性を備えております。
| 製品 | 特徴 | BD-ROM | BD-R | BD-R | ||||
| R | SR | R | SR | R | SR | |||
| Ag合金 | GBDシリーズ | 高反射率、低吸収率 高耐久性 |
○ | ○ | ○ | ○ | ||
| GDシリーズ | 優れた表面平滑性 高耐熱性 |
○ | ○ | |||||
| Al合金 | BALシリーズ | 優れた表面平滑性 | ○ | ○ | ○ | |||
※R：反射膜 SR：半透明膜
○は各シリーズの好ましい用途を示しております。
加速環境試験後の各薄膜表面のSEM像
| 純Ag薄膜 | GBDシリーズの薄膜 | GDシリーズの薄膜 | BALシリーズの薄膜 |
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加速環境試験後の各薄膜表面のAEM像
| 純Ag薄膜 | GBDシリーズの薄膜 | GDシリーズの薄膜 | BALシリーズの薄膜 |
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豆知識
ブルーレイディスク、DVDとAg合金スパッタリングターゲット
ブルーレイディスクは、DVDと比較し約5倍のデータ容量があり、フルハイビジョン映像にも対応しています。規格によってディスクの構造やデータの記録方式が異なるものの、データの再生は、ディスクに照射されたレーザー光の反射率変化を信号化することでおこなわれます。このため、反射膜材料としては、反射率が高く、経時劣化の少ないものが必要とされます。反射膜は、100ナノメートルと薄いため、薄膜蒸着の一手法であるスパッタリング法が用いられています。
