液晶ディスプレイ(LCD)

概要

当社Al合金スパッタリングターゲットは、配線(ゲート電極、ソース/ドレイン電極)向けに豊富な採用実績があります。a-Si TFT向けAl合金、Cu、Cu合金やTi、またLTPS TFT(ゲート電極)向け高耐熱Al合金(SA-HT)等も取り扱っています。




 ■アレイ基板のTFTの拡大断面図(a-Si TFT)      ■アレイ基板のTFTの拡大断面図(LTPS TFT)
アドバンストアロイとは、コベルコ科研が提案する新しい合金の登録商標です。

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