高耐熱Al合金 (Super Aluminum Heat Tough: SA-HT)

概要

 当社では、FPD用ゲート配線として採用実績のある従来のAl合金 (耐熱温度: ~400ºC)よりも、さらに耐熱性を向上させた(耐熱温度:~600℃)高耐熱Al合金 (Super Aluminum Heat Tough: SA-HT) のスパッタリングターゲットをご提供いたします。

 SA-HTはLTPS LCDのゲート配線に使用されているMo等より低電気抵抗率を有し、従来のAl合金より高い耐熱性を有しています。これらの特長から、SA-HTを使用することでMo等と同じ膜厚で低電気抵抗の配線を形成することができ、あるいはMo等と同じ電気抵抗とすると膜厚を薄く、生産効率の向上に繋げることができます。

 配線材料 耐熱温度 
従来のAl合金  ~400℃ 
SA-HT  ~600℃ 











特長

 低電気抵抗率を有しながらも、高温処理時に発生しやすいヒロックの発生が少なく、また、ウェット/ドライエッチング加工性にも優れている配線材料です。







特性 Mo 従来のAl合金 SA-HT
 低電気抵抗率
高耐熱性(=耐ヒロック性)
※熱処理温度は600℃
ガラス基板を使用した場合
×


 SA-HTは600℃の熱処理を受けてもヒロックが発生しない。
アドバンストアロイとは、コベルコ科研が提案する新しい合金の登録商標です。

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