各種測定サービス

当社製各種測定装置を用いた各種測定サービスを承ります

ライフタイム:Si、SiC、GaN、LTPS、IGZO等各種半導体材料のライフタイム測定
エッジプロファイル:Si、SiC、サファイア基板のエッジ(ベベル)形状測定
平坦度:Si、SiC、サファイア基板の平坦度 (Bow,Warp,TTV,GBIR,FSQR等)の測定
魔鏡:Si基板(ミラー)の表面性状観察

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