エッジプロファイルモニタ LEP-2400M

ウェーハサイズ 450mm

測定項目 面取り形状 Vノッチ形状
オリフラ形状 直径

ウェーハ搬送 手動

450mmウェーハの面取り形状、ノッチ形状、オリフラ形状,、直径を自動で測定します。ウェーハは、ステージに手動でセットします。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。1回の測定には測定点を9点まで指定できます。オリフラ、またはノッチを自動検出し、測定位置合わせを自動で行います。

オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定が可能です。



エッジプロファイルモニタ LEP-2200
LEP2200

ウェーハサイズ 200mm 300mm

測定項目 面取り形状 Vノッチ形状
オリフラ形状 直径

ウェーハ搬送 ロボット 真空吸着

200mmと300mmウェーハの面取り形状、ノッチ形状、オリフラ形状,、直径を全自動で測定します。ウェーハ搬送ロボットを備えているので、カセット to カセットでの測定が可能です。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。1回の測定には測定点を9点まで指定できます。オリフラ、またはノッチを自動検出し、測定位置合わせを自動で行います。

オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定が可能です。



エッジプロファイルモニタ LEP-2200M

ウェーハサイズ 200mm 300mm

測定項目 面取り形状 Vノッチ形状
オリフラ形状 直径

ウェーハ搬送 手動

200mmと300mmウェーハの面取り形状、ノッチ形状、オリフラ形状,、直径を自動で測定します。ウェーハは、ステージに手動でセットします。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。1回の測定には測定点を9点まで指定できます。オリフラ、またはノッチを自動検出し、測定位置合わせを自動で行います。

オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定が可能です。


エッジプロファイルモニタ LEP-1600
LEP1200M

ウェーハサイズ 100mm 125mm 150mm 200mm 300mm

測定項目 面取り形状 ノッチ形状

ウェーハ搬送 マニュアル

100mm、125mm、150mm、200mm、300mmウェーハを測定するマニュアルタイプのエッジプロファイラです。測定ステージにウェーハをセットすると、面取り形状、ノッチ形状を自動測定します。



エッジプロファイルモニタ LEP-1400

ウェーハサイズ 100mm 125mm 150mm 200mm 300mm

測定項目 面取り形状

ウェーハ搬送 マニュアル

100mm、125mm、150mm、200mm、300mmウェーハを測定するマニュアルタイプのエッジプロファイラです。測定ステージにウェーハをセットすると、面取り形状を自動測定します。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。



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