450mmウェーハの面取り形状、ノッチ形状、オリフラ形状,、直径を自動で測定します。ウェーハは、ステージに手動でセットします。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。1回の測定には測定点を9点まで指定できます。オリフラ、またはノッチを自動検出し、測定位置合わせを自動で行います。

オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定が可能です。

200mmと300mmウェーハの面取り形状、ノッチ形状、オリフラ形状,、直径を全自動で測定します。ウェーハ搬送ロボットを備えているので、カセット　to　カセットでの測定が可能です。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。1回の測定には測定点を9点まで指定できます。オリフラ、またはノッチを自動検出し、測定位置合わせを自動で行います。

オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定が可能です。

200mmと300mmウェーハの面取り形状、ノッチ形状、オリフラ形状,、直径を自動で測定します。ウェーハは、ステージに手動でセットします。

あらかじめ設定値を複数記憶させることにより、測定対象に応じて測定長の判断基準を切り換えることができます。1回の測定には測定点を9点まで指定できます。オリフラ、またはノッチを自動検出し、測定位置合わせを自動で行います。

オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定が可能です。