微少な凹凸を可視化

魔鏡の原理を用いて、ウェーハの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を濃淡画像で表示します。

広い検出対象
300mmウェーハの面荒れ、突起、凹み、研磨痕、研削痕、エッジチッピング・クラック、サーマルスリップなどを観察できます。

光学倍率切換

小径のウェーハを拡大して表示できます。

自動化
黒点や白点を自動検出する画像処理や、ロボット搬送機能を搭載できます。

豊富なオプション

豊富なオプションを用いることにより、ウェーハの表面性状を効率的に観察できます。