平坦度測定装置 LGW-3020FE
| 仕様 Specification | LGW Series |
|---|---|
| 測定対象 object | シリコン単結晶ウェーハ、ガラス支持体 silicon single crystalline wafer, glass support |
| 直径 diameter | 200〜300mm |
| 計測 Measurement | Thickness, Bow/Warp, Flatness （GBIR, GFLR, GF3R, etc.) |
| センサ sensor | 静電容量方式、光学式 capacitive, optical sensor |
| 厚さ範囲 thickness range | 650〜1,000μｍ |
| 精度 accuracy | ±0.5μm |
| 再現性 repeatability | σ=0.1μm |
| 表示 display resolution | 0.01μm |
| 計測時間 duration | 5mm pitch： ≦63sec/wafer 10mmpitch： ≦ 46sec/wafer |
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