エッジプロファイルモニタ　LEP-2200FE

平坦度測定装置　LGW-3020FE
測定画面
平坦度測定装置　LGW-3020FE
測定再現性
σ
Edge Length 1μm(Type A,B)
2μm(Type C)
Angle0.1°
Radius (R) 5.0μm
Thickness 0.5μm
Notch Length 2μm
Angle 0.1°
Radius (Vr) 5μm
Diameter3μm
Notch chamfering
width (Option)		1μm
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