JEIDA規格に準拠
コベルコ科研のすべてのライフタイム測定装置は、世界的に認められているJEIDA規格（53-1997）に準拠しています。

多層構造ウェーハのライフタイム測定
短波長レーザと差動検出回路を組み合わせると、エピ、拡散、SOIウェーハ等の多層ウェーハのライフタイムが測定できます。

汚染の高感度・高速測定
汚染の検出感度が極めて高いマイクロ波光導電減衰（µ-PCD）法を採用していて、短時間でライフタイムマップを表示します。

鉄濃度の測定
光照射前後のライフタイムを測定して解析することにより、鉄濃度のマップを作成できます。

豊富な計測／表示モード
ウェーハ全面のマッピング、部分計測、部分表示、３次元表示など、多彩なソフトウエアをお使いいただけます。

酸化膜／シリコン界面の評価
キャリア注入量を変化させることにより、バルク中の汚染と酸化膜／シリコン界面のトラップ密度を分離して測定できます。

FPD用薄膜の評価
短波長レーザと差動検出回路、信号処理技術により、LTPS薄膜やIGZOなどの酸化物半導体薄膜を評価することができます。

SiCの評価
短波長レーザにより、ワイドバンドギャップ半導体であるSiCの評価が可能です。