◆ 製品ラインアップ

Model
Size(mm)
Laser(nm)
Microwave(GHz)
Cassete
Robot
Stage
Application
LTA-2000 ~200 - 904 10 - Open ○ R-θ バルクSi
LTA-2200 ~300 - 904 10 - Open ○ R-θ
LTA-2000EP ~200 349 904 10 26 Open ○ R-θ バルクSi,Epi,SOI
LTA-2200EP ~300 349 904 10 26 Open ○ R-θ
LTA-2200/F 300 - 904 10 - FOUP ○ R-θ バルクSi
LTA-2200EP/F 300 349 904 10 26 FOUP ○ R-θ バルクSi,Epi,SOI
LTA-1510 ~200 - 904 10 - - - R-θ バルクSi
LTA-1512 ~300 - 904 10 - - - R-θ
LTA-1510EP ~200 349 904 10 26 - - R-θ バルクSi,Epi,SOI
LTA-1512EP ~300 349 904 10 26 - - R-θ
SLT-1410 ~200 - 904 10 - - - X-Y バルクSi（PV向け）
BLT-1100B ブリック - 904 10 - - - X-Y PV用ブリック
KLT-100 ~156角 - 904 10 - - - 1ライン PV用インライン測定
LTA-1610SP ~200 349 - - 26 - - X-Y SiC,FPD,CIGS等
LTA-1800SP ~200角 349 - - 26 - - X-Y SiC,低温ポリシリコン
LTA-2810SP 400x500 349 - - 26 専用 ○ X-Y 低温ポリシリコン
FE-2000/2200 　 鉄濃度測定ユニット
CC-2000/2200 　

コロナチャージユニット

◆ オプションソフトウエア/他

部分計測ソフト ○,　□で指定した領域をマッピング計測します。
部分表示ソフト ファイルにセーブされたマップデータについて、○,　□で指定した領域を表示します。
３次元表示ソフト ファイルにセーブしたマップデータを３次元表示します。


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営業部（東京）／〒141-8688 東京都品川区北品川5丁目9番12号　TEL(03)5739-6820 FAX(03)5739-6393
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