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平坦度・形状測定装置
ウェーハの平坦度を高速・高精度で測定します。 -
エッジ・ノッチ形状測定装置
独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。 -
魔鏡システム
鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。 -
貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置
エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。 -
ソーティングシステム・移載機
あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。 -
ライフタイム測定装置
キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。 -
結晶性評価装置（FPD）
低温ポリシリコン薄膜（LTPS）、酸化物半導体のプロセス管理が可能です。