スパッタリング
ターゲット

スパッタリングターゲットとは高機能薄膜をスパッタリング法で形成する際に必要な母材のことです。当社はお客様の用途、薄膜に要求される特性に応じて、高機能薄膜の形成に必要とされる高品質の各種スパッタリングターゲットをご提供しております。

アルミニウム合金スパッタリングターゲット

主な用途	・フラットパネルディスプレイ用配線膜、反射電極膜・タッチパネル用配線膜
薄膜に要求される特性	・低電気抵抗率・高耐熱性・高反射率
特徴	独自開発のアルミニウム合金スパッタリングターゲット

主な用途	・光ディスク用反射膜・フラットパネルディスプレイ用反射電極膜
薄膜に要求される特性	・高反射率・高耐久性
特徴	独自開発の銀合金スパッタリングターゲット

主な用途	・切削工具用硬質膜
薄膜に要求される特性	・高耐摩耗性
特徴	アークイオンプレーティング法などで工具・金型・機械部品にコーティングするターゲット、コーティングは耐摩耗性等の性能を高める

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