製品一覧

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ライフタイム測定装置

キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。

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結晶性評価装置(FPD)

低温ポリシリコン薄膜（LTPS）、酸化物半導体のプロセス管理が可能です。

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平坦度・形状測定装置

ウェーハの平坦度、形状を高精度で測定します。

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魔鏡システム

鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。

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エッジ・ノッチ形状測定装置

独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。

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エッジロールオフ測定装置

ウェーハエッジ部の面取り幅・厚さ・角度や、ウェーハ直径、オリフラ長さノッチ形状を自動測定します。

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ソーティングシステム・移載機

あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。

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貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置

貼り合せウェーハプロセスの各種評価、エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。

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