製品一覧

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  • 平坦度・形状測定装置

    平坦度・形状測定装置
    ウェーハの平坦度を高速・高精度で測定します。

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  • エッジ・ノッチ形状測定装置

    エッジ・ノッチ形状測定装置
    独自の光学画像処理技術により、エッジ・ノッチ形状を高精度に測定します。

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  • 魔鏡システム

    魔鏡システム
    鏡面に発生した微細な凹凸を鮮明な画像で表示します。

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  • 貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置

    貼り合せ評価・エッジ欠陥検査装置
    エッジ付近の微細なキズ・クラックなどの欠陥を検出します。

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  • ソーティングシステム・移載機

    ソーティングシステム・移載機
    あらゆる測定メニューの組み合わせが可能です。

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  • ライフタイム測定装置

    ライフタイム測定装置
    キャリア再結合ライフタイムを測定する装置です。

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  • 結晶性評価装置（FPD）

    結晶性評価装置（FPD）
    低温ポリシリコン薄膜（LTPS）、酸化物半導体のプロセス管理が可能です。

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