私たちが接するあらゆるものに対して、小型化・軽量化・低消費エネルギー化のあくなき挑戦が続けられています。そのなかで、薄膜材料の高品質化・高機能化の要求は絶えることがなく、薄膜材料の源であるスパッタリングターゲット材料への期待はますます高まっています。
コベルコ科研は、幅広い分野で使用される薄膜材料を独自に開発し、ご提案しています。さらに、スパッタリングに関わる周辺技術も含めた総合的なサービスにより、お客様の商品開発スピードアップ・品質向上・コストダウンのお手伝いをします。先駆的な材料技術・高度な製造技術・綿密な技術サービス・国際的な営業ネットワークが、『きらりと光るターゲット』を世に送り出します。
- 2008.04.01
- コベルコ科研ホームページ「ターゲット材」のページをリニューアルしました。
先駆者的な材料設計技術
独自のスパッタリングターゲット材料を開発する体制を構築し、先駆的な技術へ果敢に取り組んでいます。
材料設計や成膜・パターニングなどの基礎的な研究も、ターゲット事業の母体である神戸製鋼の研究開発部門との密接な連携により強化しています。
高度な製造技術
スプレイフォーミングなど特殊溶解技術を積極的に導入することにより、合金設計の幅を広げています。
また溶解・圧延・機械加工・ボンディングなどの一連の製造設備を自社で保有していることから、短納期対応や、きめ細かな品質チェックを実現しています。
綿密な技術サービス
技術サービスは製品であるスパッタリングターゲット材料自体にとどまらず、その薄膜応用技術や成膜技術・成膜装置との境界分野技術にまで広げています。
各種分析・解析を自社で実施できる体制にあり、お客様の高度な要求にも質の高い技術サポートが可能です。
国際的な営業ネットワーク
日本はもとより、アジアを中心とした世界各国の顧客と取引関係を構築しています。さらにグループ商社・現地エージェントとの強力な営業ネットワークにより、リアルタイムな対応でお客様のニーズにお応えできます。
適用アプリケーション
- フラットパネルディスプレイ（FPD）
- 液晶ディスプレイ（LCD）
- タッチパネル
- 有機EL（OLED）
- 光ディスク
- ブルーレイディスク（Blu-ray Disc）
- DVD
ターゲット事業部 所在地・アクセス地図はこちら
豆知識 -スパッタリングとは？-
スパッタリング法の原理と特徴
スパッタリングとは、原子あるいはイオンを固体(ターゲット)表面に衝突させた際に、 その固体表面原子が外部に放出される現象をいいます。
この放出された原子を対向する 基板に堆積することにより薄膜を形成することができます。
当社では、この薄膜原料となるスパッタリングターゲット材を製造・販売しています。
スパッタリング法の特徴
- 試料への付着力が大きく強い膜が形成
- 合金薄膜が形成可能な唯一の成膜方法
- 蒸着では困難な高融点原料も成膜可能
- 薄膜の機能制御が容易
- クリーンな成膜方法
