四重極質量分析計（Ｑ－ＭＳ）

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- 図１）昇温脱離分析結果
- 図２）空孔ガス分析
概要

本ガス分析装置では、ガス成分を高感度で検出することができる四重極質量分析計を用い、金属、セラミックス、電子材料および製品（ダイカスト製品、電子デバイス品、他）など、各種材料や製品に含まれるガスの成分組成、ガス量を測定することができる。
仕様

・質量分析計
　・キャノンアネルバテクニクス株式会社製　Ｍ－１０１ＱＡ－ＴＤＭ型（高感度モデル）
　・質量測定数範囲：１～１００ａｍｕ
・加熱炉
　・抵抗加熱炉　（独国）ストレライン社製　　（MAX.１１００℃）
　・赤外線集光炉　真空理工社製　　（MAX.９５０℃）
・空孔ガス分析用真空中ガス採取装置　自社開発機器
試料

・金属材料　（鋼、ステンレス鋼、チタニウム、各種合金）
・ダイカスト製品　（アルミニウム合金、他）
・電子材料　（シリコンウエハ、はんだ、他）
・電子部品　（超小型デバイス、他）
・セラミックス
・水素吸蔵合金　（各種合金）
特徴

・微量ガス量（１μｌ）、ガス組成濃度（v/v %）を測定することができる
・金属中空孔内部ガス、デバイス内部ガスを測定することができる
・昇温脱離分析（ＴＤＳ）により、昇温中のガス放出挙動を調査できる
・水素吸蔵合金の評価試験(ガス吸収温度、ガス放出温度、ガス吸収量の測定も可能である）
実施例

・昇温脱離分析：各種材料を一定温度で昇温し、ガス発生状況を定性的に分析する
・定温加熱分析：各種材料を一定温度で加熱し、放出ガス量およびガス組成比を定量する
・空孔内部ガス分析：各種材料中の空孔（ブローホールあるいは膨れ部）内部ガスを分析する
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