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高機能・独自性・実績
昨今の半導体デバイスにおいては高機能化が進み、ニーズが多様化してきております。
マテリアル事業部では機能性薄膜材料の開発力を駆使し、高移動度酸化物半導体スパッタリングターゲットや導電性DLCコーティングなどのご提案で、ニーズにお応えいたします。
マテリアル事業部では機能性薄膜材料の開発力を駆使し、高移動度酸化物半導体スパッタリングターゲットや導電性DLCコーティングなどのご提案で、ニーズにお応えいたします。
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- FPD向け酸化物半導体
ターゲット -
お客様の要求に応える独自開発薄膜材料の形成に必要とされるスパッタリングターゲットをご提供いたします。
製品種：酸化物半導体
- FPD向け酸化物半導体
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- C３コーティング（導電性DLC）
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Sn転写抑制、接触抵抗安定化、長寿命
半導体後工程検査プローブ用のコーティングです。支給品のプローブ先端へ導電性DLC (Diamond Like Carbon)のコーティングにより機能を付与します。
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- 半導体向けターゲット
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お客様の要求に応える独自開発薄膜材料の形成に必要とされるスパッタリングターゲットをご提供いたします。
製品種：酸化物半導体、その他（開発中）