高温環境下のナノインデンテーション法による硬さ，ヤング率測定

方法

Agilent Technologies社製ナノインデンターG200に加熱ステージを組み込むことにより、高温環境下における硬さ，ヤング率測定を可能にした。
ステージのサンプルトレイ部分がヒーターにより加熱される。サンプル自体の温度は別途熱電対を用いて直接計測して、サンプル温度が目標の温度になるように温調する。

精密ステージとの併用は不可。
サンプルサイズ：20mm角以内(高さは10mm以内)
試験装置・ソフト

試験装置：Agilent Technologies社製ナノインデンターG200
ソフト：Agilent Technologies社製Test Works4　(Basic Method)
イメージ
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- 図1　ポリイミド，アクリルの硬さと測定温度の関係
- 図2　ポリイミド，アクリルのヤング率と測定温度の関係
特徴

高温環境下における薄膜や微小領域の硬さ，ヤング率を測定することにより、それら試料の高温機械特性評価あるいは機械特性の温度依存性評価が可能である。
・昇温温度上限350℃
・温度制御精度±0.5℃
実施例

・高分子材料(ポリイミド，アクリル)の硬さ，ヤング率測定
・LED封止樹脂の硬さ，ヤング率測定
・自動車用部品めっき膜の硬さ，ヤング率測定
・レジスト膜の硬さ，ヤング率測定