事業概要
Services

薄膜物性

薄膜の密着性測定(mELT、引張、スクラッチ)

  • 薄膜の密着性測定(mELT、引張、スクラッチ)

薄膜応力測定(光てこ法)

  • 薄膜応力測定(光てこ法)

薄膜の熱物性測定

薄膜の硬さ・ヤング率測定(ナノインデンテーション)