薄膜物性

• 薄膜の密着性測定（mELT、引張、スクラッチ）

• 薄膜応力測定（光てこ法）

• 薄膜の熱物性測定

  • 放射率（輻射率）測定

• 薄膜の硬さ・ヤング率測定（ナノインデンテーション）

  • 高温環境下のナノインデンテーション法による硬さ，ヤング率測定
  • 薄膜の硬さ・ヤング率測定（ナノインデンテーション）
  • ナノインデンテーション法を用いた微小領域のクリープ特性評価