理論解析（原子モデル設計、分子スペクトルシミュレーション、MD計算）

方法

・構造モデル設計。入力情報として構造モデルを作成する。ここでは、SiとSi酸化物の構造モデルを図1へ示す。
・分光シミュレーション：構造モデルを基に、理論的な反射EELS、TEM-EELSスペクトルを計算する。
・実測の反射EELS、TEM-EELSスペクトルを測定する。
・測定データとの比較を行う。最小自乗フィット(LC-XANES Fit)などの解析を行い、含有物の半定量解析を行う。
試験装置・ソフト

・原子モデル設計　Materials Explorer4, OpenMX3, Cerius, ChemOffice, Atoms
・分光スペクトルシミュレーション　FEFF8.2、DV-Xa、Wien2k
・解析　LC-XANES Fit
イメージ
※クリックすると拡大します。
- 図１）構造モデルの例
- 図２）TEM-EELSの実スペクトルと理論スペクトルの比較結果
特徴

反射EELS(Electron Energy Loss Spectrum)やTEM-EELSなどの実測スペクトルをシミュレーション解析することにより，微小領域(nm)における特定元素の状態分析，構造解析が可能になる。
実施例

・TEM-EELS解析 Si K損失端スペクトルと理論スペクトルの比較（図２）
・反射EELSのスペクトル解析　Diamond Like Carbonの分析
・放射光によるX線吸収微細構造スペクトル解析フェライト鋼、Feさびの添加元素・不純物の状態解析