大気非開放クライオFIB/in-lens　SEMによる形態観察

大気非開放クライオFIB加工では、大気に触れない雰囲気の下で、試料を冷却しながらFIB(Focused Ion Beam:主にガリウムイオンを当てること)により、観察断面を加工します。熱により変性や変形しやすい材料の加工に有効な手法です。リチウムイオン電池のセパレーター等では、室温でFIB加工すると、加工熱による形状の変化があり、本来の形態を観察することが難しいのですが、クライオFIB加工では熱による影響を避けることが出来るため、明瞭な観察像を得ることが出来ます。
本クライオFIB装置では、試料を-140℃まで冷却した状態で加工することができます。

また大気非開放クライオIn- Lens SEMと組み合わせることにより、観察時の電子線による熱ダメージも大幅に低減させることができます。
室温では観察が難しい固体電解質層の形態についても知ることが出来ます。

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