エッジ・ノッチ形状測定装置

エッジプロファイルモニタ概要

原理

エッジ形状、ノッチ形状、オリフラ長さ、ウェーハ直径などを非接触で測定するために、3種類の独立な光学式センサ（エッジセンサ、ノッチセンサ、外形センサ）を搭載しています。ウェーハはX-θステージ上に真空吸着されていて、並進（X）/回転（θ）駆動により測定対象位置をエッジ/ノッチセンサに移動させることができます。光学系の出力信号は画像メモリに転送され、コンピュータに搭載されたソフトウエアにより画像処理が行われます。そしてエッジ部やオリフラ/ノッチの形状が自動的に解析され、各部の長さや角度・曲率半径などが計算されます。

測定項目と測定方法

製品ラインナップ

LEPシリーズ

ノッチ測定に特化したLVM-1400もご提案可能です。（対応ウェーハサイズは6,8,12"φで、この中から2サイズを選択）

オプション

対応サイズ追加

精密直径測定

貼り合せウェーハ中心ズレ測定

ノッチ面幅測定機能（LEP-2000/2200,2000M/2200M,2200FEビルドインのみ）

簡易ノッチ面幅測定機能（ビルドイン、既存機の改造可能 ※１　ノッチカメラによる上側測定のみ）

※１　対応の可否につきましてはお問合せください。

簡易精密直径測定機能

画像データ閲覧ソフト（装置外PCにおける画像データ確認用ソフト）

オリフラ肩R測定機能（2000/2200,2000M/2200M,2200FE ビルドイン及び既存機の改造可能）