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エッジ・ノッチ形状測定装置
エッジプロファイルモニタ概要
原理
エッジ形状、ノッチ形状、オリフラ長さ、ウェーハ直径などを非接触で測定するために、3種類の独立な光学式センサ（エッジセンサ、ノッチセンサ、外形センサ）を搭載しています。ウェーハはX-θステージ上に真空吸着されていて、並進（X）/回転（θ）駆動により測定対象位置をエッジ/ノッチセンサに移動させることができます。光学系の出力信号は画像メモリに転送され、コンピュータに搭載されたソフトウエアにより画像処理が行われます。そしてエッジ部やオリフラ/ノッチの形状が自動的に解析され、各部の長さや角度・曲率半径などが計算されます。
測定項目と測定方法
●面取りの角度と幅は、それぞれ独立したアルゴリズムで解析するため、高精度の計測が可能です。
●オリフラ、ノッチを自動検出し、位置合わせを自動で行います。（2000シリーズ）
●形状毎に10種類の測定レシピを配信できます。
●測定点を、オリフラ（ノッチ）からの角度で任意に設定出来ます。
●測定対象に応じて、測長の判断基準を切り換えることができます。
●オプションソフトにより、テンプレートや判定基準に基づいた合否判定や選別が可能です。（2000シリーズ）
●エッジ形状の一覧表示（9点）が可能です。（2000シリーズ）
●エッジハンドリング・FFUを搭載する事により、クリーンな搬送が可能です。また、ホスト通信を行うことで、フルオートファブにも対応可能です。
製品ラインナップ
-
マニュアル搬送式 エッジ・ノッチ
（LEP-1700）形状測定装置
LEP-1500・LEP-1700- ウェーハサイズ
- 下表参照
- 測定項目
- エッジ形状
ノッチ形状（LEP-1700）
-
マニュアル搬送式（セミオート）式
エッジ・ノッチ形状測定装置
LEP-2200M- ウェーハサイズ
- 下表参照
- 測定項目
- エッジ形状
ノッチ形状
直径測定
-
C to C
エッジ・ノッチ形状、 直径測定装置
LEP-2200- ウェーハサイズ
- 下表参照
- 測定項目
- エッジ形状
ノッチ形状
直径測定
-
OHTファブ対応
エッジ・ノッチ形状、直径測定装置
LEP-2200FE- ウェーハサイズ
- 下表参照
- 測定項目
- エッジ形状
ノッチ形状
直径測定 - 機能・構成
- ホスト通信機能
LEPシリーズ
| Type | Wafer Size(mm) | Measurement Item | Mechanical Function | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 100 | 125 | 150 | 200 | 300 | Edge Shape |
Notch Shape |
Diameter | High Accurate Diameter |
OF Length |
Notch Chamfering Width |
Transpor ting Robot |
Auto Alignment |
Edge Handling |
|
| 1500 | * | * | * | * | * | ○ | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- | -- |
| 1700 | * | * | * | * | * | ○ | ○ | -- | -- | -- | △ | -- | -- | -- |
| 2000M | △ | △ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | ○ | △ | -- | ○ | -- |
| 2000 | △ | △ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | ○ | △ | ○ | ○ | -- |
| 2200M | -- | -- | △ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | ○ | △ | -- | ○ | -- |
| 2200 | -- | -- | △ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | △ | ○ | △ | ○ | ○ | -- |
| 2200FE | -- | -- | -- | -- | ○ | ○ | ○ | ○ | -- | -- | -- | ○ | ○ | ○ |
オプション
対応サイズ追加
真円度直径測定
貼り合せウェーハ中心ズレ測定
ノッチ面幅測定機能（LEP-2000/2200,2000M/2200Mビルドインのみ）
簡易ノッチ面幅測定機能（ビルドイン、既存機の改造可能 ※１ ノッチカメラによる上側測定のみ）
※１ 対応の可否につきましてはお問合せください。
