ソーティングシステム・移載機

ソーティングシステム・移載機概要

コベルコ科研の豊富な計測、評価メニューと高い信頼性の搬送系を自由に組み合わせ、ご要求仕様に最適なシステムをご提案致します。

製品ラインナップ

• 

  小口径ウェーハ ソーティングンステム
  LRW-1420RS

  ウェーハサイズ

  ф 100mm、ф 125mm、
  ф 150mm

  測定項目

  厚さ
  TTV、 BowBF、WarpBF、Bow3P、
  Warp3P、 Sori Bow/Warp
  比抵抗

  機能・構成

  42力セットステージ（片側21ステージ）
  ウェーハ反転機構
  エリアセンサ

• 

  Bow/Warp+比抵抗+PN判定機能付き
  ソーティングンステム
  RPW-3240i

  ウェーハサイズ

  φ300mm、φ200mm

  測定項目

  Bow/Warp
  比抵抗
  PN判定

  機能・構成

  ID読み取り機能
  24カセットステージ
  （片側12カセット）

• 

  魔鏡+ Bow/Warp測定装置
  MBW-3030

  ウェーハサイズ

  φ300mm

  測定項目

  厚さ
  Bow/Warp
  魔鏡

  機能・構成

  3カセットステージ

  オプション

  3画像処理ソフト

• 

  OHTファブ対応移載機
  LSS-3020FEiR

  ウェーハサイズ

  φ300mm

  機能・構成

  ウェーハ移載
  ホスト通信（GEM300）
  エッジハンドリング
  ID読み取り機能
  2ロードポート
  ウェーハ反転機能

• 

  ニデック社FT900搭載 自動平坦度測定装置
  NSW-1040S/ILd

  ウェーハサイズ

  φ75mm、φ100mm、φ150mm、φ200mm

  計測項目

  平坦度（GBIR、 GFLR、 GF3R、 SBIR）
  そり形状（Bow/Sori）
  厚さ（中心厚さ、外周4点厚さ）

  カセットステージ

  4

  計測方式

  光学干渉方式（ニデック社製 FT-900）
  レーザー変位計（厚さ測定）

  オプション

  パーティクル異常検出機能