ライフタイム測定装置

原理：マイクロPCD法

μ-PCD：Microwave PhotoConductivity Decay(マイクロ波光導電減衰法)

レーザーにより試料に注入したキャリアの時間的変化を、マイクロ波の反射パワーで検出します。

測定対象と装置構成

様々な試料のライフタイムを測定するための励起レーザとマイクロ波検出系の組み合わせ

様々なバルクウェーハ

様々なバルクウェーハのタイムラップ

鉄濃度（オプション）

μ-PCD法による鉄濃度測定

コロナチャージ（オプション）

RTP酸化膜とコロナチャージによる表面不活化

製品ラインナップ

社団法人電子情報技術産業協会規格（JEIDA-53）に準拠した904nmレーザと9.6GHzマイクロ波アンテナ検出部を搭載しています。
349nmレーザと26GHz差動マイクロ波アンテナ検出部などオプションで搭載が可能です。