原理:マイクロPCD法
μ-PCD:Microwave PhotoConductivity Decay(マイクロ波光導電減衰法)
レーザーにより試料に注入したキャリアの時間的変化を、マイクロ波の反射パワーで検出します。
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測定対象と装置構成
様々な試料のライフタイムを測定するための励起レーザとマイクロ波検出系の組み合わせ
![img_item01_02.png](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/assets_c/2014/04/img_item01_02-thumb-700x236-714.png)
様々なバルクウェーハ
様々なバルクウェーハのタイムラップ
![img_item01_03.png](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/assets_c/2014/04/img_item01_03-thumb-700x511-716.png)
鉄濃度(オプション)
μ-PCD法による鉄濃度測定
![img_item01_04.png](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/assets_c/2014/04/img_item01_04-thumb-700x681-718.png)
コロナチャージ(オプション)
RTP酸化膜とコロナチャージによる表面不活化
![img_item01_05.png](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/assets_c/2014/04/img_item01_05-thumb-700x425-720.png)
製品ラインナップ
社団法人電子情報技術産業協会規格(JEIDA-53)に準拠した904nmレーザと9.6GHzマイクロ波アンテナ検出部を搭載しています。
349nmレーザと26GHz差動マイクロ波アンテナ検出部などオプションで搭載が可能です。
![img_item01_07.png](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/assets_c/2014/04/img_item01_07-thumb-700x301-724.png)
![img_item01_08.png](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/assets_c/2014/04/img_item01_08-thumb-700x301-726.png)
![btn_service.jpg](https://www.kobelcokaken.co.jp/leo/item/images/%E3%83%9C%E3%82%BF%E3%83%B3.jpg)